Entwicklung eines mobilen EUV-Rastermikroskopes

In diesem Buch wird der Aufbau eines auf Zonenplattenoptiken basierenden, kompakten, mobilen Labor-Rastermikroskopes beschrieben. Der Anwendungsbereich liegt im Bereich weicher Röntgen- und EUV-Strahlung. Dieser Teil des Spektrums umfaßt den für biologische Untersuchungen interessanten Bereich des Wasserfensters zwischen 2,3 und 4,4 nm Wellenlänge, genauso wie die für die Industrie prominente Linie bei 13 nm. Als kompakte Quelle für EUV-Strahlung kommen beispielsweise laserinduzierte Plasmen oder Hohe-Harmonische Strahlung in Frage. Laserinduzierte Plasmen sind heute gut verstanden und liefern zeitlich stabile Quellen mit guter Konversionseffizienz, um abbildende Anwendungen wie die Mikroskopie zu betreiben. Hohe-Harmonische Strahlung dagegen ermöglicht mit seiner kurzen Pulsstruktur im Bereich einiger Femtosekunden Untersuchungen dynamischer Prozesse. Beide Quelltypen bieten die Möglichkeit, rastermikroskopische Experimente von Großeinrichtungen wie Elektronenspeicherringen in das Labor zu verlagern. Untersuchungsverfahren wie Spektromikroskopie, Photoelektronen- oder Röntgenfluoreszenzspektroskopie können übertragen und mit hoher Zeitauflösung durchgeführt werden.