Fokusbasierte Tiefenvermessung zur Qualitätsprüfung bei der Mikrostrukturierung

In diesem Buch steht die Vermessung von Strukturen im Bereich weniger bis einiger hundert Mikrometer bei der Fertigung im Vordergrund. Aufgrund der Fertigungsumgebung, bei der Temperaturschwankungen und Erschütterungen entstehen können, kommen nur robuste und störungsunanfällige Messsysteme in Betracht. Um den Kosten- und Integrationsaufwand gering zu halten und dem geforderten axialen Messbereich zu genügen, wurde ein fokusbasiertes System bestehend aus einem Mikroskop, Positioniereinheit und diffuser Beleuchtung entwickelt. Der Vorteil der Prüfung der Strukturen am Fertigungsort im Gegensatz zu herkömmlichen Messmethoden, bei denen das Objekt von der Bearbeitungsstelle entfernt werden muss, liegt in der deutlich kürzeren Zeitdauer, die für die Prüfung benötigt wird. Einsatzgebiet des in der Arbeit entwickelten Messverfahrens ist die Prüfung von Prototypen und Kleinserien bzw. die Stichprobenkontrolle in der Produktion während des Fertigungsprozesses.